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10月9日消息，俄罗据CNews报道，刻机俄罗斯已完成用于生产130纳米制程光刻机的完成开云线上官网第三阶段设计验收工作，该阶段验收证书已于2026年8月7日签署。验收

该130nm分辨率光刻机由“泽列诺格勒纳米技术中心”（Zelenograd Nano Technology Center，制造ZNTC）与白俄罗斯“普拉纳尔”（Planar）公司合作开发，成本主要用于将集成电路拓扑图形投影转移到直径200毫米（8英寸）的达万半导体晶圆上，并在制造超大规模集成电路（VLSI）时进行多重投影复制，美元设计制程为130纳米。俄罗

在项目框架内，刻机ZNTC制造了两台波长为193纳米的完成准分子激光器原型，同时还制造了光掩模、验收测试结构、制造开云线上官网用于在工作波长上测量和控制光刻及像差特性的成本物镜测试台等，并完成了基础工艺调试。达万

按计划，ZNTC应在2026年3月交付第三阶段，但实际推迟至2026年8月才交付。目前该装置已完成基础工艺调试。

最新验收证书还指出，这款俄罗斯自研的130nm制程光刻机具有“独特特征”，因为它使用包括自主研发的193纳米准分子激光器在内的光源，以及其他国产零部件和国产半导体材料，达到了所需分辨率。

需要指出的是，ZNTC在2025年初已完成首台分辨率为350纳米的光刻机生产，该设备已移交给Element Group旗下的“行业解决方案”公司。同时，ZNTC还开发了设计规范为150纳米的电子束光刻设备。

根据曝光的文件，该装置的开发由白俄罗斯“普拉纳尔”公司负责（费用为1.496亿卢布）。除装置本身外，该公司还负责机械部件制造（费用为1.95亿卢布）、零件和原型调试（费用超过1亿卢布）。

激光器由“拉萨德”（Lassard）公司开发，费用为5亿卢布。累计支付给“普拉纳尔”和“拉萨德”的费用略超过10亿卢布。

据科瓦廖夫称，ZNTC在项目中负责装置整体开发、测试台和工艺台结构设计、物镜计算，以及工艺建模和开发。

光刻机本身的制造成本估计为5.422亿卢布（约650万美元），两个激光器成本分别为4900万卢布和4600万卢布。

对俄罗斯而言，130纳米分辨率步进式光刻机原型完成研发并通过验收，显然是一项新突破，此前其不具备这类光刻机的生产能力。此前，全球能够生产此类光刻机的企业仅有荷兰ASML、日本佳能和尼康、中国上海微电子。