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俄罗斯打破封锁:自研350nm光刻机正式投入批量生产

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发布时间:2026-09-13 16:46:39

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9月13日消息,俄罗据frontierindia报道,斯打锁自生产俄罗斯正将其首台自主研发的破封批量开云app官方入口网站350纳米光刻机投入批量生产,首台Progress STP-350计划于2026年12月交付莫斯科Mapper公司。刻机这标志着俄罗斯重建本土半导体设备产业的正式重要里程碑。

第二台机器计划交付给Element集团旗下的投入Industry Solutions公司。更值得关注的俄罗是,俄罗斯已在着手研发130纳米光刻技术,斯打锁自生产首台350纳米光刻机或将成为其更大规模半导体设备研发进程的破封批量开云app官方入口网站开端。

泽列诺格勒纳米技术中心(ZNTC)与白俄罗斯公司Planar合作,刻机开发了用于350纳米工艺节点半导体生产的正式新型系统。尽管350纳米工艺不如当前先进制程,投入但它对工业电子、俄罗功率器件、斯打锁自生产汽车零部件和专用传感器仍至关重要。破封批量

计划于12月交付的设备,目的不仅是新增一台工厂设备,更在于表明俄罗斯已完成从实验室研发到光刻系统批量生产的过渡。

Mapper是首家客户,隶属于俄罗斯国家技术集团公司(Rostec),并通过Shvabe控股公司与该公司关联。Element集团旗下Industry Solutions计划接收第二套量产系统。两套系统将分别整合到与俄罗斯国内微电子生态系统相关的企业中。

Progress STP-350是一款投影式步进光刻机,可将光掩模上的图案转移到半导体衬底上。其曝光区域尺寸为22毫米 x 22毫米,工艺分辨率为350纳米。该设备更适合成熟节点半导体制造,而非尖端逻辑器件生产,因为它能够处理直径达200毫米的晶圆。

俄罗斯宣布,下一代国产光刻系统预计将于2027年投入使用,该系统能够生产130纳米芯片。从350纳米过渡到130纳米,将大幅扩展俄罗斯国内可开发的半导体应用范围。

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